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Silicon-mold-based Fabrication Method for Manufacturing Polyimide Membrane with Nano-Protuberance ar
【机 构】
:
Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology,Chinese Academy of Sciences,Chongqing China
【出 处】
:
第6届纳米操纵、制造与测量国际会议( the International Conference IEEE 3M-NANO
【发表日期】
:
2016年5期
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