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本文分析了掺铝的ZnO薄膜的结构，讨论了温度．掺杂等AZO薄膜结构和光电性能影响，AZO透明导电薄膜的光学性质可以看成基本是掺杂粒子散射的自由电子所决定的。AZO透明导电薄膜具有高的可见光透过率、高的紫外光吸收性以及高的电子导电性能。
半导体氧化锌铝(AZO)透明导电薄膜的光电性能
【摘 要】
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本文分析了掺铝的ZnO薄膜的结构，讨论了温度．掺杂等AZO薄膜结构和光电性能影响，AZO透明导电薄膜的光学性质可以看成基本是掺杂粒子散射的自由电子所决定的。AZO透明导电薄膜具有高的可见光透过率、高的紫外光吸收性以及高的电子导电性能。
【机 构】
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洛玻集团技术中心
【出 处】
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中国硅酸盐学会电子玻璃分会2010年光电子玻璃技术研讨会
【发表日期】
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2010年6期
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