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刀具涂层技术是一种新型的纳米表面涂层技术。论述了近年来氮化钛基AlTiN和TiAlSiN超硬纳米复合工具膜的研究进展。首先，讨论了工艺参数对单一TiAlN薄膜的影响，比较了梯度和纳米多层AlTiN薄膜的优点，总结了后处理如退火在调整薄膜应力、结构和性能方面的研究；其次，分析了超硬TiAlSiN纳米复合膜在Si元素固溶机制以及多弧离子镀技术制备超晶格纳米复合膜方面的最新研究进展。最后，展望了氮化钛基超硬纳米复合工具膜未来的研究方向。