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利用蓄热体储存废气净化后的热量来预热新进入的废气，废气预热后再进行燃烧室氧化。三室RTO的净化效率可以99％以上，热效率达95%以上。当废气中含有机卤化物时，RTO装置内会产生二噁英，形成二次污染，催化氧化法(CO)也产生二噁英。催化法的热效率低于RTO，当废气中含有浓度较高的污染物或导致催化剂中毒的有机物时，不推荐使用催化法。直燃式热力氧化(DFTO)不产生或产生少量二噁英，但是这个方法产生NOx浓度较高，且热效率低。