硅-兰宝石压力传感器

来源 :1986年中日电子敏感技术科学讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pptcowboy
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该文介绍了应用SoS材料研制成功的压力传感器。该传感器的显著特点是:耐高温,它的工作温度(-55°C~300°C)比全硅型半导体压力传感器上限温度高出200°C以上;它是一种宽频响(高频)的固态压力传感器(几百Hz~500KHz);该传感器的精度较高;还具有漏电小,耐高压,耐腐蚀,较稳定等特点。(本刊录)
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