本文主要利用一种新型的表面改性方法提高聚氯代对二甲苯膜(Parylene C，简称PC膜)的水汽阻隔性，即超热氢交联技术(Hyperthermal Hydrogen InducedCross-linking，HHIC)。其原理如下，利用具有适当能量的氢分子（能量大于10eV的氢分子称为超热氢分子）选择性地剥离碳氢键上的氢原子，生成碳自由基并在不破坏其它官能团的同时实现分子链交联的方法。采用此技术处理厚度约llOμm的PC膜，通过调控氢分子能量有选择地剥离PC膜表面C-H键中的氢原子，从而膜的表面产生碳自由基，在不破坏基材的情况下，表面产生的碳自由基形成稳定的化学交联结构，解决了PC膜表面能低，与其他材料粘接性能差的困难，同时利用HHIC技术制得的阻隔膜克服了多层膜工艺复杂、成本昂贵且在改性的过程中破坏膜基材优异性能等缺陷，也满足了单层材料在阻隔性方面的不足。