【摘 要】
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光波导是光纤通信技术的基础，利用平面光波导技术可以造出各种不同的集成光学器件。光波导的制备方法很多，现在实验上常用的也是最好的一种方法就是离子注入技术。铌酸锂晶体是一种优良的人工晶体，它具有很多重要的性质。与通常的同成分铌酸锂晶体相比，近化学剂量比铌酸锂在很多物理性质方面有了很好的改善，成为了现在研究的热点。
【机 构】
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山东大学物理学院,济南,250100 四川大学核科学与技术研究所,成都,610064
【出 处】
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全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子
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光波导是光纤通信技术的基础，利用平面光波导技术可以造出各种不同的集成光学器件。光波导的制备方法很多，现在实验上常用的也是最好的一种方法就是离子注入技术。铌酸锂晶体是一种优良的人工晶体，它具有很多重要的性质。与通常的同成分铌酸锂晶体相比，近化学剂量比铌酸锂在很多物理性质方面有了很好的改善，成为了现在研究的热点。
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