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本文采用磁控溅射的方法在不锈钢基体上制备了不同Mo含量的CrMoN复合涂层，采用x射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)、光电子能谱仪(XPS)，系统分析了CrMoN复合涂层的成分，相结构、表面形貌、原子化合价价态等，研究结果表明：添加Mo后，CrMoN涂层的择优取向由CrN涂层的(220)转变为(200)，随着Mo含量的增大，衍射峰向左偏移，CrMoN涂层中的Mo原子取代了CrN晶格中的Cr原子，形成(Cr,Mo)N置换固溶体。采用CETR摩擦磨损试验机对涂层的摩擦学性能进行研究，结果表明：与CrN涂层相比，CrMoN复合涂层摩擦系数降低，且随着Mo含量的增多，CrMoN复合涂层的耐磨性增强，其原因是在磨损过程中由于摩擦生热涂层表面形成了铬钼氧化物，有利于改善CrMoN复合涂层的耐磨性能。