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作为一种新型的激光加工技术，在 MEMS 和 NEMS 研究领域，飞秒激光双光子三维微加工工艺已经越来越受到广泛重视。这种方法具有真三维、高分辨、无掩模以及热影响小等独特优点。
一种飞秒激光微加工平台及其应用
【摘 要】
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作为一种新型的激光加工技术，在 MEMS 和 NEMS 研究领域，飞秒激光双光子三维微加工工艺已经越来越受到广泛重视。这种方法具有真三维、高分辨、无掩模以及热影响小等独特优点。
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026;中国科学院化学所分子反应动力学国家重点实验室,北京,100080
【出 处】
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第五届全国光子学大会
【发表日期】
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2004年10期
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