大口径球面计算全息图检测样板的制作研究

来源 :2004年全国光电技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woshcn
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凸非球面检测问题一直是限制其应用的主要瓶颈,在凹球面上制作出计算全息图,通过设计使其衍射面与待检凸非球面一致,可实现凸非球面的检测.量化了用于检测凸非球面的球面计算全息图样板,给出了球面计算全息图样板的位相结构,利用极坐标激光直写系统制作了球面计算全息图,计算全息图的环带定位误差为0.6μm,环带线宽误差6%以内,测试结果表明制作的球面计算全息图的精度,分析了球面计算全息图的制作误差.
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