超疏水表面一般是指与水的静态接触角大于150°,滚动角小于10°的类荷叶表面,具有自清洁效应。目前制备超疏水表面的方法主要包括:刻蚀法、溶胶-凝胶法、模板法、化学沉积法等。但超疏水涂层还存在诸如不能方便地大面积制备、制造成本高等问题。本文通过旋涂气相纳米二氧化硅与聚二甲基硅氧烷(PDMS)乳液的混合液,得到具有一定粗糙度的涂层,在涂层表面化学气相沉积(CVD)1H,1H,2H,2H-全氟癸基三氯硅烷使涂层具有超疏水自清洁性,方法简单方便。同时探讨了二氧化硅含量及有机溶剂对涂层性能的影响。用扫描电镜(SEM)和动态接触角分别对涂层表面形态和性能进行了表征。SEM显示了涂层具有粗糙结构,动态接触角结果表明,涂层具有超疏水自清洁性。结果显示,有机溶剂的加入有利于涂层的形成,提高二氧化硅含量可以增加粗糙度和接触角。