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Bubble Growth and Interactions with Other Defects in Silicon by Ion Implantation
【机 构】
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SchoolofScience,TianjinUniversity,Tianjin300072,PR.China;TianjinKeyLaboratoryofLowDimensionMaterials
【出 处】
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9th International Conference on Computer Siumlaation of Radi
【发表日期】
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2008年10期
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