吸附浓缩分离-生物再生组合工艺在工业有机废水处理中的应用

来源 :第八届国际化学工程和生物技术展览暨会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:simplyblue
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高线性度微机械陀螺的动态特性是高性能高精度陀螺研究的一个重要方面。介于微结构涉及微观干扰力的作用机理及行程效应、各种阻尼力及电场力的作用因素、微机械陀螺各转换环节间的线性度、双级解耦结构等都对微机械陀螺的动态特性造成了一定的影响。因此,本文在设计一种高线性度双极解耦微机械陀螺基础上对其动态性能进行了测试分析。该微机械陀螺采用SOG加工工艺,管芯用陶瓷DIP-24方式封装。
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