论文部分内容阅读
综述了核径迹技术用于CR-39宽波长抗反射材料研究，采用HI-13串列加速器产生的32S粒子(能量80Mev，流强20nA)辐照CR-39样品，密度分别为108、109/cm2。将辐照过的样品放在清洁环境中。并采用了四因素三变量正交实验表L43来最佳化蚀刻实验的温度、浓度和时间。并对制备的抗反射样品的抗反射性能进行了概述。