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ＷｏｌｔｒｅＸ光显微镜是ＩＣＦ研究中十分重要的诊断设备。目前只有美国ＬＬＮＬ研制的几台ＷｏｌｔｒｅＸ光显微镜在ＩＣＦ实验中得到了成功的运用。他们和中科院长春光机所合作研制了国内第一台ＷｏｌｔｒｅＸ光显微镜，于１９９６年１０月星光Ⅱ小靶室上成功地检测出了表征一个成象系统最本质特性的空间分辨率数据。整个调试过程包括Ｘ光显微镜自身光路、真空和电控系统调整，激光对靶的辐照参数的调整、底片曝光量和靶定位系统调整。采用了特殊设计的背光靶，保证了目标轮廓清楚，对所获照片进行了仔细判读、处理，确认该显微镜的物面分辨率在该次实验条件下表现为６．６μｍ。