【摘 要】
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本文通过分析工程中影响曲面频率选择表面设计过程中性能指标的因素,讨论了制板工艺的误差对频率选择表面的影响,并以十字环型单元结构为例,通过建立刻蚀工艺对FSS影响的仿真模型,着重分析讨论了工程上不同刻蚀工艺对频率选择表面板性能指标的影响程度.
【机 构】
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北京理工大学信息与电子学院,北京100081
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本文通过分析工程中影响曲面频率选择表面设计过程中性能指标的因素,讨论了制板工艺的误差对频率选择表面的影响,并以十字环型单元结构为例,通过建立刻蚀工艺对FSS影响的仿真模型,着重分析讨论了工程上不同刻蚀工艺对频率选择表面板性能指标的影响程度.
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