用内标法在SEM上测定固体颗粒直径

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阐述了用内标法在扫描电子显微镜上测定固体颗粒直径的方法﹑实验﹑计算方法和测量不确定度评估。并通过对测量不确定度评估的讨论,认为用内标法在扫描电子显微镜上测量微小物质长度是一种操作方便,可以获得较小的测量不确定度的方法。 The method of determining the diameter of solid particles by scanning electron microscopy with internal standard method, the experimental method, the calculation method and the evaluation of measurement uncertainty are described. Through the discussion on the evaluation of measurement uncertainty, it is considered that the method of measuring the length of fine material by scanning electron microscopy with internal standard method is a convenient method and can obtain a smaller measurement uncertainty.
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