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本文利用直流反应磁控溅射技术分别在玻璃和柔性衬底上制备铝掺杂氧化锌(ZnO：Al，简称AZO)透明导电薄膜，研究了Al含量和氩氧比对薄膜特性的影响。室温条件下，优化参数后可获得透光率超过90％、电阻率低至10-3Ωcm量级的AZO透明导电膜。所制得的AZO薄膜在太阳能电池及柔性器件的应用上具有较大的优势和应用前景。