空间环境模拟设备的真空校准技术研究

来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:longxue1211
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本文介绍了空间环境模拟设备进行热真空试验时对真空度和温度的要求,分析了空间环境模拟设备对真空计量的需求,包括常规真空校准、特殊环境下真空校准、分压力校准和对其整体性能的测试,提出了对目前真空校准的新的要求.
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