论文部分内容阅读
为了了解Czochralski结构浅池内晶体和/或坩埚旋转驱动的硅熔体流动特性及其转变规律,利用有限差分法进行了非稳态三维数值模拟。模拟结果表明,当旋转速度较低时,流动为轴对称稳态流动;随着转速的提高,流动会转化为三维振荡流动;晶体与坩埚同向旋转时,流动转化的临界转速较高,反向旋转时,临界转速较低;速度波动幅度随转速的增大而增大,而速度波的传播方向则取决于晶体和坩埚转速的相对大小。