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采用有限元软件分析了TC4钛合金筒形件在超塑成形后冷却过程中，由于耐热钢模具线膨胀系数与TC4合金不同而导致的尺寸偏差和形状畸变，并研究了不同的工艺参数对形状畸变的影响规律。结果表明：在930℃→室温的冷却过程中，915℃时筒形件侧壁开始产生形状畸变，形状畸变随温度降低不断增大，到800℃时增至最大。筒形件产生的形状畸变随着摩擦系数的增大而增大，这是因为由于摩擦作用的存在，筒形件无法通过有效的滑动来进行体积释放，只能通过塑性变形来释放体积，所以塑性变形随着摩擦系数的增大而增大，从而导致形状畸变也随着摩擦系数的增大而增大。