【摘 要】
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基于选择性透过功能薄膜氦传感器检漏仪的原理为工件在大气箱内充入氦气，大气箱内由鼓风机不断补充新鲜空气形成以气流，用石英薄膜氦传感器通过阀门和管路与大气箱相连，从工件漏点泄漏的氦气随大气箱内的气流随管道传送至氦传感器，氦传感器从全部其它气体中分离氦气，并将气流中的氦浓度和将实际漏率报告给用户。技术方案为对衬底进行超声波清洗等预处理，并在蒸镀开始前先用离子源对衬底进行轰击，提高表面清洁度、沉积粒子的迁
【机 构】
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广州市光机电技术研究院 广州新龙浩工业设备有限公司
【出 处】
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广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会
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基于选择性透过功能薄膜氦传感器检漏仪的原理为工件在大气箱内充入氦气，大气箱内由鼓风机不断补充新鲜空气形成以气流，用石英薄膜氦传感器通过阀门和管路与大气箱相连，从工件漏点泄漏的氦气随大气箱内的气流随管道传送至氦传感器，氦传感器从全部其它气体中分离氦气，并将气流中的氦浓度和将实际漏率报告给用户。技术方案为对衬底进行超声波清洗等预处理，并在蒸镀开始前先用离子源对衬底进行轰击，提高表面清洁度、沉积粒子的迁移率和膜层的填充密度，增强膜层的牢固性，用磁控溅射镀膜机进行石英薄膜的蒸镀。对制备好的薄膜进行SEM、AFM、拉曼光谱等测试，研究其晶体结构、均匀性、渗氦率等性能与工艺参数的关系，优化工艺。集成选择性透过功能薄膜氦传感器。
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