【摘 要】
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采用有限元方法对温梯法、下降法、泡生法及热交换法蓝宝石生长系统进行了数值模拟及优化.分析了保温层设置、冷却条件、发热体设计、坩埚位置等对晶体生长温度场、热流场及
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,201800
【出 处】
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第十六届全国晶体生长与材料学术会议
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采用有限元方法对温梯法、下降法、泡生法及热交换法蓝宝石生长系统进行了数值模拟及优化.分析了保温层设置、冷却条件、发热体设计、坩埚位置等对晶体生长温度场、热流场及晶体中应力分布的影响.结果表明,温梯法中发热体采用波浪开槽方式会造成温场椭圆分布,易导致坩埚发生变形,增加晶体中的应力,通过改进发热体设计,采用鸟笼式发热体,改善温场的对称性,减少晶体开裂的几率.
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