【摘 要】
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Needles and cracks in tin-doped indium oxide tablets during electron beam evaporation process are investigated for transparent and conducting oxide films.Th
【机 构】
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School of Material Science and Engineering, Guilin University of Electronic Technology, Guilin 54100
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Needles and cracks in tin-doped indium oxide tablets during electron beam evaporation process are investigated for transparent and conducting oxide films.The formation of needles is predominantly resulted from the scanning trace controlled by x and y axes scanning singles.The needles can be solved by controlling electron beam scanning trace.The loose microstructure of the tablets with uniform grains and pores results in low bonding strength, which leads to cracks under the thermal shock of high energy electron beam.A three-dimensional reticulated skeleton structure with high bonding strength can eliminate these cracks.The modified structure and modified scanning trace can enhance the light output of GaN-based LEDs.
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