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采用显微剖切的方法,观察及分析干膜线路截面形貌。通过正交实验设计的方法,重点考察了贴膜速率、曝光级数及显影速率对干膜线路截面形貌的影响,从而遴选出最佳参数组合:贴膜速率1.0 m·min-1,曝光级数7.2,显影速率1.4m·min-1,此条件下得到的干膜线路截面最接近于矩形。
图形转移工艺对干膜线路截面形貌的影响
【摘 要】
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采用显微剖切的方法,观察及分析干膜线路截面形貌。通过正交实验设计的方法,重点考察了贴膜速率、曝光级数及显影速率对干膜线路截面形貌的影响,从而遴选出最佳参数组合:贴膜
【机 构】
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中电十五所pcba中心,北京 100083
【出 处】
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第四届全国青年印制电路学术年会
【发表日期】
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2010年期
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