自上而下原位制作分级多孔纳米结构的氧化铝/金多层薄膜电极

来源 :2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:miumiumin
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  采用与MEMS工艺易兼容的工艺,自上而下制作了分级多孔纳米结构的氧化铝/金多层薄膜电极。利用SEM和EDS对上述多层薄膜电极结构进行了表征。结果显示上层氧化铝层即阳极氧化铝层具有有序的多孔的结构特性,其孔道垂直于电极表面,无障碍层,具有穿孔特性,根据扩孔时间长短,孔径大小在80~120nm范围内可调左右;底层金层亦为多孔结构,孔尺寸为10nm左右。为了评价分级多孔纳米结构的氧化铝/金多层薄膜电极的性能,以H2O2为氧化还原探针,通过循环伏安法对分级多孔纳米结构的氧化铝/金多层薄膜电极和传统的裸金薄膜电极的电化学性能分别进行了测试。
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