【摘 要】
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本篇论文的目的是提高飞利浦-顾客满意测量工具的准确度以确保这门工具能够测量探针4090u-57的准确率.飞利浦-顾客满意测量有以下三个主要职能:·检查探针的准确率·通过纪录图来显示测量数据的真实时间·纪录测量数据以便进行分析 许多原因可以直接影响飞利浦-顾客满意测量工具的图形,并间接地影响探针4090u-57的随机定位.我们主要关心以下三个问题:·飞利浦-顾客满意测量的准确度·探针的运动对飞利浦-
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本篇论文的目的是提高飞利浦-顾客满意测量工具的准确度以确保这门工具能够测量探针4090u-57的准确率.飞利浦-顾客满意测量有以下三个主要职能:·检查探针的准确率·通过纪录图来显示测量数据的真实时间·纪录测量数据以便进行分析 许多原因可以直接影响飞利浦-顾客满意测量工具的图形,并间接地影响探针4090u-57的随机定位.我们主要关心以下三个问题:·飞利浦-顾客满意测量的准确度·探针的运动对飞利浦-顾客满意测量的破坏程度·环境的波动对飞利浦-顾客满意测量的破坏程度 假设飞利浦-顾客满意测量的测量误差主要来自探测系统本身和背景波动.另一方面,平台是背景波动的主要来源.当探针运动时,这一工具在由探针和平台共同导致的震动环境下工作.但是,经过一段时间,探针将保持静止.这样,如何我们进行逐秒测量,那我们将能分析出过滤出背景噪音后的系统波动.本篇论文将采用QS-9000的MSA方法评价测量的精确度和准确度.我们用系统的重合性来量化由探测系统决定的精确度,用平台重现性来量化由平台波动导致的波动程度.当准确地固定了显微镜之后,我们就可以精确地发现探针4090u-57.PSK-顾客满意测量是在±4μm误差范围内检查探针准确率的可行工具.
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