【摘 要】
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现代半导体工厂和特气工厂使用复杂的气体输送系统(GDS)用来将UHP气体从大宗气体纯化器输送到工艺过程之中。一般来讲，这些GDS系统都配备有连续质量控制系统(CQC系统)用于
【机 构】
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英国仕富梅集团有限公司中国区,上海闵行元山路88弄9号楼201108
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现代半导体工厂和特气工厂使用复杂的气体输送系统(GDS)用来将UHP气体从大宗气体纯化器输送到工艺过程之中。一般来讲，这些GDS系统都配备有连续质量控制系统(CQC系统)用于保证输送到工艺流程中的气体所含杂质的水平不超过正常的限度，从而提高工艺的产出。随着UHP气体的等级越来越高，也对高纯气体的杂质的分析提出了越来越高的要求。
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