论文部分内容阅读
从理论上分析了当采用Ti 40nm+400℃ Al 450nm作为SOI流程的金属膜层时，器件参数异常甚至失效的原因，并通过实验验证了理论分析的正确性。在对实验数据进行对比分析后，得出了作为SOI流程的金属膜层的最佳结构：Ti40nm+101TiN60nm+400℃ Al 450nm。
用于SOI工艺的Ti/TiN/Al技术研究
【摘 要】
：
从理论上分析了当采用Ti 40nm+400℃ Al 450nm作为SOI流程的金属膜层时，器件参数异常甚至失效的原因，并通过实验验证了理论分析的正确性。在对实验数据进行对比分析后，得出了作
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏 无锡 214035
【出 处】
：
中国电子学会第十三届青年学术年会
【发表日期】
：
2007年期
其他文献
宏观解读PMBOK(R) Guide第六版的新内容,对比分析第六版和第五版之间的差异.从项目的环境和背景、项目实现组织战略、项目人才三角三个方面入手探讨了新版本的理论发展和在实
针对当前农业植保的新情况，探索了植保新技术集成推广的新路子，形成了植保工作的新思路，取得了显著的社会经济效益，对于新形势下植保工作的开展具有重要的参考价值。
通过对涪陵城区蜚蠊的调查，基本弄清了危害酒店、宾馆、居室的蜚蠊种类为黑胸大蠊(44.76％）、美洲大蠊(35.04％）、澳洲大蠊(7.92％）和德国小蠊(6.65％）。同时对其生物学特性进行了观察研究
会议
本文在国内首次提出了在部分耗尽绝缘体上硅(PD SOI)衬底上形成的FPGA的设计方法，SOI基FPGA是当前集成电路产业的一个前沿课题，国外的研究也刚刚起步。文章在充分了解SOI器件工
会议
2007年巫溪县小春病虫发生面积3.4667万hm2，防治面积1.2133万hm2。本文分析了2007年巫溪县小春作物主要病虫发生危害特点，归纳了小春作物病虫防治要点，探讨了存在的问题并提出对
本文介绍了基于我所0.5um SOI CMOS工艺技术平台的万门级FPGA电路的设计。结合FPGA电路自身的特点，对电路从标准体硅CMOS工艺迁移到SOI CMOS工艺过程中，采用抗辐射加固的设计方
遵照国家卫生部、总后卫生部关于“军队百家医院对口支援西部地区”的指示,2001年南京军区福州总医院派出医疗队赴贵州威宁贫困山区送医送药,医疗队在王烈主任的带领下,克服
由于美国的新「化工」运动而产生的农业化工协会Farm Chemurgic Council,在本刊第一期里已经介绍过了。这个协会的成立大会还是在十一年以前就是一九三五年,当然在这十一年
本文根据光电二极管的I-V曲线，引入光电二极管串联电阻的概念，提出了器件AGC(AUTO-GAIN--CONTROL自动增益控制)理论。研究表明，利用光电二极管的AGC特性所设计串联式AGC电路，具有