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狭缝型永磁微波离子源在离子注入轴承方面的应用改进
狭缝型永磁微波离子源在离子注入轴承方面的应用改进
来源 :'99全国荷电粒子源粒子束学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:douzixia
【摘 要】
:
该文简述了狭缝型永磁微波离子源为适应轴承的离子注入应用而所作的改进。
【作 者】
:
白玉兰
王锦辉
厉学文
【机 构】
:
北京机械工业自动化所
【出 处】
:
'99全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
缝型
永磁
微波离子源
离子注入
轴承
应用
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该文简述了狭缝型永磁微波离子源为适应轴承的离子注入应用而所作的改进。
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