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本文描述了集成电路芯片制造中对石英制品材料和制品表面的质量要求，简介了石英制品使用中对其质量的监测方法。本文对石英制品的其它如公差尺寸、高温变形和裂纹等没有描述。
集成电路制造对石英制品质量要求评述
【摘 要】
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本文描述了集成电路芯片制造中对石英制品材料和制品表面的质量要求，简介了石英制品使用中对其质量的监测方法。本文对石英制品的其它如公差尺寸、高温变形和裂纹等没有描述。
【机 构】
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无锡华晶上华半导体公司
【出 处】
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2003年全国高新技术用石英制品及相关材料技术研讨会
【发表日期】
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2003年期
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