论文部分内容阅读
本文采用自行设计的CVD炉快速沉积热解炭块体材料,用石墨作沉积衬底,设计特殊的导电体,利用电磁场对气体反应的中间产物进行流态化作用,实现各向同性热解炭的快速沉积。本文研究了沉积温度为900～1500℃,系统压力0.1～0.1MPa条件下,使用石油液化气作碳源,N2作稀释气体;采用偏光显微镜、研究了沉积炭的组织结构;采用激光喇曼光谱的结构参数R-1表征热解炭的微观结构和石墨化度;用SEM观察其断口和沉积表面的形貌特征;用TEM表征其原子的晶格排列。研究表明:沉积40h各向同性热解炭厚度可达到12mm;材料基本上由均匀的颗粒状结构组成。