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该文简要介绍十一千瓦磁性微波镀膜机的研制概况，调试中的一些现象和基本结构，基本数据，也简谈美国专业厂家发状况和经营方式，从而暴露出我们落后不足之处和今后应努力的方向。
十千瓦磁性微波等离子镀膜设备的研制概况
【摘 要】
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该文简要介绍十一千瓦磁性微波镀膜机的研制概况，调试中的一些现象和基本结构，基本数据，也简谈美国专业厂家发状况和经营方式，从而暴露出我们落后不足之处和今后应努力的方向。
【机 构】
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青岛市机械研究所
【出 处】
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中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
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2001年期
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