分析了基于反渗透/电去离子(RO/EDI)的膜集成技术在超纯水生产中的技术优势和应用价值，对EDI技术的基本原理、特点和工艺过程进行了讨论，重点对国内外同类EDI技术的不同特点、优缺点进行了比较分析，指出了以EDI为核心的全膜法超纯水技术的发展瓶颈在于进一步放宽EDI的进水要求。针对该问题，提出了新型RO/深度除硬EDI/深度脱盐EDI膜集成技术路线，并对其工艺先进性进行了阐述。研究表明，经特殊设计的深度除硬EDI，在进水硬度高至5mg×L-1的条件下，产水硬度可稳定低于0.1 mg×L-1，pH值则接近中性，从而使下游深度脱盐通用EDI产水电阻率维持于17MW×cm之上。采用新型RO/深度除硬EDI/深度脱盐EDI膜集成技术制备超纯水，较主流的RO/RO/EDI工艺可节省设备投资约40％，同时RO浓水排放则减少40％，使得在绝大多数原水条件下均可只使用一级RO为前处理。该新型纯水制备工艺，以及以多级EDI串联为核心的类似工艺的推广应用，将使基于离子交换树脂的化学制水工艺真正成为历史。