【摘 要】
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本研究利用微机电技术于矽晶圆上制作微脉衡式热管,并透过实验与可视化方式分析其热傅性能.微脉衡式热管外观尺寸分别为35mm×40mm×1.025mm,共有64条宽500μm及300μm交错排列之平行矩形沟槽,微流道系利用感应耦合式电浆蚀刻系统对矽晶片蚀刻250μm所得,并使用阳极接合矽晶片及已透过雷射技术穿孔之玻璃片以封装流道,并分别充填去离子水、甲醇及介电液HFE-7100作为工作流体,实验结果显
【机 构】
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工業技術研究院 緣能與環境研究所 國立高雄應用科技大學 機械工程系
【出 处】
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海峡两岸第二十届照明科技与营销研讨会
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本研究利用微机电技术于矽晶圆上制作微脉衡式热管,并透过实验与可视化方式分析其热傅性能.微脉衡式热管外观尺寸分别为35mm×40mm×1.025mm,共有64条宽500μm及300μm交错排列之平行矩形沟槽,微流道系利用感应耦合式电浆蚀刻系统对矽晶片蚀刻250μm所得,并使用阳极接合矽晶片及已透过雷射技术穿孔之玻璃片以封装流道,并分别充填去离子水、甲醇及介电液HFE-7100作为工作流体,实验结果显示微脉衡式热管以甲醇及介电液HFE-7100作为工作流体可成功启动并有效提升热传效能,相较于无流道之矽-玻璃样品于加热瓦数10W时可降低约23％热阻,当加热瓦数提升至19W时更可较无流道之矽-玻璃样品降低56.3％之热阻,实验结果亦显示去离子水因为其流体性质而无法成功作动.
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