【摘 要】
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离子体中高能电子或离子轰击器壁表面会产生二次电子，假如产生的二次电子数量足够多，则会在壁附近积聚形成电势低于壁的虚阴极结构。本文在改进的双等离子体装置上，利用发射探针测量了非磁化等离子体中负偏压的不锈钢平板两侧的鞘层和预鞘结构，用离子能量分析仪测量了离子流能量，研究了由于高速离子轰击平板产生二次电子引发的虚阴极结构。结果显示，平板上下游的鞘层中均有虚阴极出现，但并非对称。平板上下游虚阴极的深度和宽
【机 构】
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中国科学技术大学近代物理系,中国科学院近地空间环境重点实验室安徽,合肥,230026
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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离子体中高能电子或离子轰击器壁表面会产生二次电子，假如产生的二次电子数量足够多，则会在壁附近积聚形成电势低于壁的虚阴极结构。本文在改进的双等离子体装置上，利用发射探针测量了非磁化等离子体中负偏压的不锈钢平板两侧的鞘层和预鞘结构，用离子能量分析仪测量了离子流能量，研究了由于高速离子轰击平板产生二次电子引发的虚阴极结构。结果显示，平板上下游的鞘层中均有虚阴极出现，但并非对称。平板上下游虚阴极的深度和宽度与离子流的能量，气压，等离子体本底密度，二次电子产额以及平板偏压有关。
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近年来，由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用，人们对电负性气体的测量愈发重视，并研究了多种电负性气体的性质.本文利用朗缪尔静电探针和悬浮型微波共振探针测量了单射频40.68MHz等离子体，研究了三种不同电负性气体(O2、 Cl2、 SF6)在不同流量比下对容性耦合Ar等离子体参数产生的影响，着重分析了电子密度ne、电子温度Te以及EEPF的变化情况，然后根据Shin
引言介质阻挡放电(DBD)可以在各种气压下产生低温等离子体,特别适合于低温等离子体的工业化应用[1].DBD的研究历史己过百年,但仍有一些问题没有解决,至今仍是气体放电领域的研究热点.稳定、均匀的辉光DBD是许多应用追求的目标,其产生机理和条件也是放电物理所关心的问题.
This paper studies hollow cathode glow plasma in magnetic field.Requirements to obtain glow plasma under 10-2 Pa and factors affecting the size of glow plasma are investigated.The pressure of glow dis
引言相对论强激光与等离子体相互作用会产生高能电子,在先进粒子加速器、新型电磁辐射源产生、快点火激光聚变等具有重要潜在应用.在快点火激光聚变中,定向强流电子束的产生是其核心问题之一.以往的研究表明,与平面靶相比,锥形靶在电子加速中产生的电子能量更高、方向性更好.
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引言根据装置结构的不同,介质阻挡放电可以分为两种:体放电和沿面放电.相比而言,沿面放电是产生大面积等离子体的重要手段.目前,许多学者针对体放电装置进行了理论计算和实验研究,得出了其电子温度的分布范围[1],但对于沿面放电,尤其是其放电机理的研究则较少.对于大气压下进行的介质阻挡放电,传统的诊断方法如朗缪尔探针都不能采用[2].