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研究了不同外延工艺的外延片上Ni/Au透明电极在氮气中合金对其欧姆接触性能的影响,发现其正向压降(Vf)有的上升,有的仍然保持不变,同时对这种现象进行了讨论.
在氮气氛中二次合金对GaN基LED欧姆接触的影响研究
【摘 要】
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研究了不同外延工艺的外延片上Ni/Au透明电极在氮气中合金对其欧姆接触性能的影响,发现其正向压降(Vf)有的上升,有的仍然保持不变,同时对这种现象进行了讨论.
【机 构】
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南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心;江西省昌大光电科技有限公司(南昌)
【出 处】
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第九届全国LED产业研讨与学术会议
【发表日期】
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2004年9期
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