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本文应用椭偏仪对SiO2标准薄膜的厚度和折射率进行测量,研究了油污、划痕、摩擦这三种因素对薄膜厚度和折射率测量的影响,分析了薄膜表面的污损情况对测量的影响机制,并探讨了避免此类误差的方法.
薄膜表面的污损对椭偏仪实验的影响
【摘 要】
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本文应用椭偏仪对SiO2标准薄膜的厚度和折射率进行测量,研究了油污、划痕、摩擦这三种因素对薄膜厚度和折射率测量的影响,分析了薄膜表面的污损情况对测量的影响机制,并探讨
【机 构】
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同济大学物理科学与工程学院,上海200092同济大学土木工程学院,上海200092
【出 处】
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2013年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会
【发表日期】
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2013年7期
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