近年来发展了多种微纳米尺度下应力/应变的测量方法,例如微米、亚微米分辨的云纹干涉、显微拉曼,纳米、亚纳米分辨的透射电镜图像几何相位法等。然而,却尚缺少一种十纳米（即亚亚微米）量级分辨率的应变测量手段,从而导致针对纳米复合材料与复杂异质结构的跨尺度力学测量遇到困难。本文提出一种通过量化几何转角实现应变测量的数字云纹新方法。该方法以高分辨透射电镜（TEM）获取的晶格图像为基础,通过傅立叶变换-反傅里叶变换,将晶格图像生成三个不同倾角的TEM栅。以已知应变状态位置获取的TEM栅为参考栅,以所需测量位置获得的TEM栅为试件栅,分别对倾角接近的参考栅与试件栅进行逻辑运算,得到各倾角栅对应的数字云纹图像。基于几何云纹基本原理,建立参考栅与试件栅二者之间栅线倾角的变化（即栅线转角q）、几何云纹条纹的倾角φ与栅线间距变化（即栅线法向应变分量ε）之间的解析关系。计量TEM栅线转角与几何云纹条纹的倾角,带入以上关系得到试件栅位置上三个不同方向的正应变,从而实现面内应变各分量的解耦测量。由于本方法获得的是高分辨TEM图像所截取的空间范围内应变的平均信息,因此具有十纳米量级的空间分辨率。本文将该方法与显微拉曼相结合,应用于硅锗固溶合金缓冲应变硅结构的应变分析,给出了应变硅层与锗硅合金缓冲层界面附近的应变分布信息。