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基于空间光调制器的灰度掩模制作环形光栅
基于空间光调制器的灰度掩模制作环形光栅
来源 :光电技术应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qwer96669
【摘 要】
:
介绍了基于空间光调制器的灰度掩模系统制作环形光栅.将二元光学方法与环形光栅的概念结合起来,为制作可以集成到光电系统的环形光栅以及其他光学元件提供了一条较好的思路.
【作 者】
:
鲁开源
何兴道
【机 构】
:
南昌航空工业学院
【出 处】
:
光电技术应用
【发表日期】
:
2006年5期
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介绍了基于空间光调制器的灰度掩模系统制作环形光栅.将二元光学方法与环形光栅的概念结合起来,为制作可以集成到光电系统的环形光栅以及其他光学元件提供了一条较好的思路.
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