【摘 要】
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针对蓝宝石微结构加工技术中湿法腐蚀后面粗糙度较大的问题,提出优化湿法腐蚀工艺参数,研究湿法腐蚀中腐蚀液浓度、腐蚀液温度及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀面面粗糙度及腐蚀速率的
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十几研究所,黑龙江150001
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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针对蓝宝石微结构加工技术中湿法腐蚀后面粗糙度较大的问题,提出优化湿法腐蚀工艺参数,研究湿法腐蚀中腐蚀液浓度、腐蚀液温度及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀面面粗糙度及腐蚀速率的影响,选取不同工艺参数进行实验并对腐蚀后蓝宝石片进行测试分析.针对测试结果,优化工艺参数并实验.实验结果显示:优化腐蚀液参数后,腐蚀后面粗糙度由原有的28nm降至24nm,有效降低了腐蚀面面粗糙度,提高了光的提取效率,满足高精度光学压力传感器的制作要求.
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