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介绍了一种利用氦离子化检测器（DID）分析高纯八氟环丁烷中微量O2、N2、CO、CO2、C3F6的方法。该方法对杂质的检测限能够达到0.01×10-6,结果表明,该方法能达到较高的灵敏度和较低的检测限。
电子级八氟环丁烷中杂质含量的测定
【摘 要】
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介绍了一种利用氦离子化检测器（DID）分析高纯八氟环丁烷中微量O2、N2、CO、CO2、C3F6的方法。该方法对杂质的检测限能够达到0.01×10-6,结果表明,该方法能达到较高的灵敏度
【机 构】
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西南化工研究设计院,北京绿菱气体有限责任公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2011年1期
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