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在高密度芯片中,层与层之间的联系主要是通过过孔来连接的,那么,过孔的附加电容在分析芯片的电特性中就必须考虑.本文利用DDM-CM理论,对过孔结构进行了简单分析,得出了一个简单、比较精确的附加电容的解析表达式,并和已发表的文献结果作了比较,结果吻合.
过孔附加电容的计算
【摘 要】
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在高密度芯片中,层与层之间的联系主要是通过过孔来连接的,那么,过孔的附加电容在分析芯片的电特性中就必须考虑.本文利用DDM-CM理论,对过孔结构进行了简单分析,得出了一个简单、比较精确的附加电容的解析表达式,并和已发表的文献结果作了比较,结果吻合.
【机 构】
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上海交通大学电子工程系
【出 处】
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2003全国微波毫米波会议
【发表日期】
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2003年10期
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