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本文从厚膜混合集成电路生产线应用统计过程控制(SPC)技术的需求、意义、实施方案等入手,结合厚膜混合集成电路的工艺特点,给出厚膜混合集成电路印刷工序应用SPC技术的方法.
统计过程控制技术在印刷工序的应用
【摘 要】
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本文从厚膜混合集成电路生产线应用统计过程控制(SPC)技术的需求、意义、实施方案等入手,结合厚膜混合集成电路的工艺特点,给出厚膜混合集成电路印刷工序应用SPC技术的方法.
【机 构】
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陕西华经微电子股份有限公司,西安,710065
【出 处】
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第十四届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
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2005年期
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