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本论文研究了蓝宝石抛光初始阶段抛光速率与下压力、抛光转速两项工艺参数的关系；分析了抛光过程中摩擦系数的动态变化规律.结果表明,抛光速率大致正比于下压力,即随压力增大抛光速率线性加快；而抛光转速对抛光速率则影响不大.摩擦系数动态监测表明,随着抛光的进行,动摩擦系数缓慢增加.
LED用蓝宝石单晶衬底抛光工艺的研究
【摘 要】
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本论文研究了蓝宝石抛光初始阶段抛光速率与下压力、抛光转速两项工艺参数的关系；分析了抛光过程中摩擦系数的动态变化规律.结果表明,抛光速率大致正比于下压力,即随压力增大
【机 构】
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中科院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,纳米技术研究室,上海200050
【出 处】
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2008年上海纳米科技与产业发展研讨会
【发表日期】
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2008年11期
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