【摘 要】
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在Si衬底上,以LaNiO3(LNO)为过渡层,用溶胶-凝胶旋涂法制备了沿(115)晶面高度择优取向的SrBi2Ta2O9(SBT)铁电薄膜,在氧气氛围下,分别在四个不同的温度(600℃、650℃、700
【机 构】
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广东工业大学物理与光电工程学院广州510006
【出 处】
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第十四届全国电介质物理、材料与应用学术会议
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在Si衬底上,以LaNiO3(LNO)为过渡层,用溶胶-凝胶旋涂法制备了沿(115)晶面高度择优取向的SrBi2Ta2O9(SBT)铁电薄膜,在氧气氛围下,分别在四个不同的温度(600℃、650℃、700℃、750℃)下退火,研究了不同温度处理下SBT 薄膜的晶体结构、铁电漏电性能以及磁性能.在SBT 薄膜表面溅射了一层半径0.1mm 的Au 为顶电极,以LNO 为底电极,室温下测得P-E 曲线发现650℃、700℃下退火处理所得SBT 薄膜剩余极化强度Pr 超过1uC/cm2,其中700℃退火所得SBT 薄膜剩余极化强度为7.16uC/cm2,饱和极化强度Ps 为13.55uC/cm2.漏电流测试发现750℃退火的SBT 漏电流最小,即使在7V 的电压下,其漏电流也不会超过10-5A/cm2,漏导机理均呈欧姆导电机制.室温下测量薄膜样品的磁性能,分析发现700℃退火处理的SBT/LNO多层膜呈超顺磁性.
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