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应用改进分析型嵌入原子法(MAEAM)对Mo(001)表面层中单空位的形成能、层内和层间迁移能以及扩散激活能进行研究，结果表明表面仅对位于前4层内空位的形成能和迁移能有影响。单空位在表面第1层内容易形成且可迁移。对于层间迁移，在第2层上的单空位容易通过1NN跳向第1层迁移，在第3和第4层上的单空位容易通过2NN跳分别向第1和第2层迁移，而第5和第6层上的单空位容易向下迁移。