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真空紫外激光由于波长短、光子能量高等特点，在光电子光谱学、精密激光加工、凝聚态物理、生物医学等领域有着重要的应用。目前获得真空紫外激光的常用方法是紫外透明非线性晶体中的多波混频技术，利用气体介质中的四波混频方法能克服无机晶体中倍频、和频等过程存在的截止波长局限，原理上可以得到波长更短的真空紫外激光。