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Ⅱ类超晶格长波红外探测器刻蚀工艺与性能研究
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083
【出 处】
:
第十二届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
:
2017年期
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