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该文探讨了在半导体制造工艺教学采用多媒体技术的重要性，概述了半导体工艺多媒体教学实验系统的结构设计、多媒体素材收集与制作以及系统集成等方面，提出了一种适合于教学系统的半导体工艺模拟的实现方法。
半导体制造工艺多媒体教学实验系统的设计与开发
【摘 要】
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该文探讨了在半导体制造工艺教学采用多媒体技术的重要性，概述了半导体工艺多媒体教学实验系统的结构设计、多媒体素材收集与制作以及系统集成等方面，提出了一种适合于教学系统
【机 构】
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大学微电子所
【出 处】
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第六届全国多媒体技术学术会议
【发表日期】
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1997年期
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